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蒸鍍工藝為什么制約著OLED的產(chǎn)能?

2024-12-05 15:08:58 sh默尼 4

在OLED面板制程中,蒸鍍工藝制約著OLED的良率和產(chǎn)能。隨著當(dāng)下世代線(xiàn)的增加,原先應(yīng)用于小尺寸的水平蒸鍍技術(shù)似乎難以應(yīng)對(duì)。水平蒸鍍工藝存在“重力下垂”的技術(shù)瓶頸。當(dāng)水平放置時(shí),在重力的作用下FMM(FMM是超薄的金屬遮罩)中間與邊緣存在一定的偏移量,而且FMM尺寸越大偏移的幅度越明顯。一旦FMM板出現(xiàn)重力變形,整張玻璃基板上的OLED蒸鍍沉積厚度和形狀就會(huì)出現(xiàn)不一致的現(xiàn)象,導(dǎo)致面板難以“形成像素點(diǎn)”、“保持像素點(diǎn)分辨率PPI”、“保證像素點(diǎn)的良率”。


因此,將FMM板轉(zhuǎn)換一個(gè)方面,以“垂直蒸鍍”的方式看起來(lái)是在成本上最友好的優(yōu)化流程方案。垂直蒸鍍工藝則將FMM垂直放置,F(xiàn)MM和玻璃基板形變小,蒸鍍更均勻,像素位置精度(PPA)更高,混色更小,同時(shí)可以提升分辨率,降低功耗、成本。


不過(guò),垂直蒸鍍同樣帶來(lái)許多技術(shù)難題。垂直蒸鍍要求更高的溫度輸送氣化的有機(jī)物,這些有機(jī)物可能會(huì)在過(guò)多的熱量環(huán)境產(chǎn)生特性的變化;另外,確保重復(fù)蒸鍍2米以上的8.5代玻璃基板的蒸鍍工藝,并在無(wú)損傷的情況下移動(dòng)的物流技術(shù)也并非易事。



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